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热像仪应用于 TCO 薄膜通电测试

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热像仪应用于 TCO 薄膜通电测试

  • 分类:技术文章
  • 作者:
  • 来源:
  • 发布时间:2021-01-15
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热像仪应用于 TCO 薄膜通电测试

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1、背景概述

TCO 薄膜是一类特殊材料和工艺的镀膜,它主要应用于平板显示器和建筑两大领域。与其他类型的导电薄膜相比,氧化物透明导电膜不仅导电性好,而且还像玻璃一样具有高的透明性,所以,可以把它看作一种用途十分广泛的特征功能薄膜。

这种氧化物透明导电薄膜用途十分广泛,它的主要用途有:

1.显示器件中的电极材料。

2.防静电,防电磁屏蔽层。为了防止静电,必须使方阻小于 109Ω。

3.面发热体。SnO2 薄膜的电热转换效率在 90%以上,通电后立即产生热效应。

4.热反射膜。SnO2 和 ITO 薄膜在红外部分的反射率可达到 80%以上。

5.太阳能电池。(1) SIS 异质结太阳能电池;(2) 太阳能电池的减反射膜。

6.薄膜电阻器。

7.气敏传感器。现已能探测甲烷,CO、CO2、H2、H2S、乙醇等多种气体和烟尘。

8.终端设备。用透明导电薄膜制作薄膜开关。

9.汽车玻璃。



用 Fotric 226-2 套装进行测试(配备 50μm 微距镜头)

 

TCO 薄膜的主要技术指标有光谱透过率、导电性能、雾度以及激光刻蚀性能。其中,在薄膜电池的制作过程中,需要将表面划分成多个长条状的电池组,这些电池组被串联起来用以提高输出能效。因此,TCO 玻璃在镀半导体膜之前,必须要对表面的导电膜进行刻划,被刻蚀掉的部分必须完全除去氧化物导电膜层,以保持绝缘。刻蚀方法目前有化学刻蚀和激光刻蚀两种,但由于刻蚀的线条要求很细,一般为几十微米的宽度,而激光刻蚀具有沟槽均匀,剔除干净,生产效率快的特点。

2、客户需要解决什么问题

 

研发人员需要验证这类薄膜的印刷质量和刻蚀工艺是否存在断裂、粘连等问题。



 

其中白框内两线间距为 50 微米

 

3、当前有哪些解决方案及其弊端

对 TCO 薄膜通电,测试刻蚀质量。采用测试温度的方式测量,如果出现粘连或断裂会出现不同的温度变化。

热电偶与数采使用热电偶测温准确,但是由于电池组较细,而且间距只有 50 微米宽,没有办法很好的粘贴热线偶可能会导致通电时电路只能测量点或几个点的温度,没有办法找到整个薄膜上刻蚀的线断裂部位或短路部位破坏了器件本身的热场分布,尤其是小尺寸元器件;

热电偶有温度惯性,采集的温度和实际温度有滞后;

 

 

红外测温枪

红外测温枪使用方便,但问题也很多:

没有办法精确找到测量的部位,不能同时测试多个点;

不能直观看到问题点;

被测部位很小,温度会被平均;


 

4、Fotric 产品如何帮助客户解决该问题及优势

对 TCO 薄膜通电,然后采用 Fotric 226 搭配 50 微米微距镜观看温度变化,如果出现粘连可以看到高温点,如果出现断裂会有线路温度较低。

 

Fotric 226 三合一热像仪单张热像图即采集 110592 个温度值,可以直观看到问题点,高效率无盲区的查找问题。


Fotric 226 热像仪可连接电脑,配合 AnalyzIR 专业软件变身为在线热像仪,而且搭配 Fotric B1 实验台测温更稳定。

 

北京神州技测科技有限公司
 

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